产品介绍
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华太极光TA-THz-SNOM(lite) 太赫兹散射式近场光学显微镜将太赫兹光谱系统 THz-TDS 与近场原子力主机 AFM 相结合，实现近场频谱宽度 0.5~2 THz。系统采用模块化设计，主要包括散射式近场显微镜主机、高分辨率光学显微镜、太赫兹成像与光谱模块主机（内置锁相放大模块、AI边缘计算模块）、显控模块等部分。
系统通过新一代散射式近场显微镜主机平台，以多功能控制器为控制中心，采用基于神经网络的先jin AI 校准算法提升系统精度。设计采用硬件模块化思想，每个硬件模块采用标准化的接口，具有通用性和扩展性，维护方便。 |
产品特点
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■ THz-TDS + AFM 集成一体化 ■ 超高空间分辨率，优于 40 nm ■ THz-TDS 系统可从 SNOM 移除，作为远场 THz 时域光谱仪独立使用 ■ 全光纤光路设计 ■ 多维扫描能力：支持 1D（趋近曲线）、2D（AFM/s-SNOM 图像）、3D 扫描 ■ 高阶近场解调：锁相范围 0~5 MHz，4 个解调器，可实现高阶（n=1~5）近场扫描 ■ 透射/反射模式可切换 |
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应用方向
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THz-SNOM光学原理架构图 |
■ 纳米尺度太赫兹近场光谱成像与材料表征 ■ 半导体材料载流子分布与寿命测量 ■ 超表面/超材料纳米结构研究 ■ 二维材料（石墨烯、过渡金属硫化物等）近场光学特性研究 ■ 生物分子与纳米生物材料检测 ■ 微纳电子器件失效分析 ■ 聚合物薄膜与复合材料纳米尺度表征 |
型号参数
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指标 |
参数 |
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远场光谱覆盖范围 |
0.1-5 THz |
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信噪比 |
≥80dB |
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近场光学成像模块空间分辨率 |
优于40 nm |
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激光脉冲 |
优于60fs |
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重频 |
80MHz |
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平均功率 |
60mW |
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快速延时线 |
≥260ps，扫描速度10Hz（@50ps） |
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补偿延时线 |
≥1000ps |
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样品台 |
XY手动行程25×25mm |
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锁相范围 |
0-5MHz |
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解调器 |
数量4个，可实现高阶近场扫描 |
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单次扫描范围XYZ |
100 µm×100 µm×5 µm，可实现电动拼接扫描 |
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扫描面积 |
＞1mm×1mm |
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样品台扫描分辨率 |
X,Y≤0.2 nm，Z≤0.05nm（闭环） |
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光学显微镜 |
配备500万像素CCD相机；空间分辨率优于2 µm |
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软件 |
THz图谱分析AI平台，提供AI算法，预处理算法、波长筛选算法、异常样本剔除算法、成像算法、经典图谱分析、深度学习图像分析等；提供太赫兹近场扫描成像系统的控制策略 |
参系统配置
| 序号 |
名称 |
型号 |
数量 |
组成 |
| 1 |
散射式近场显微镜 |
TA-AFM |
1台 |
含AFM主机、光学显微镜 |
| 2 |
太赫兹时域光谱仪 |
TA-Thz-TDS |
1台 |
含飞秒光纤激光器、延迟线、锁相放大、光电导天线、太赫兹镜组、主机机箱 |
| 3 | Thz图谱分析AI平台 |
TA-edge-3 |
1台 |
含控制服务器、AI平台、分析控制软件 |
